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SiC石墨盘 -
SiC石墨盘
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石墨托盘技术1)用于LED外延片加工石墨顶板;2)挡板结构内部晶片边缘休息;3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。 功能1)较低的热膨胀系数2)thermak导电性更好3)稳定的化学perfermance4)更好的耐蚀性5)较强的导电性 规范数量单位体积密度1.85克/立方厘米比电阻11 - 14 uΩm抗压强度90
石墨托盘
技术
1)用于LED外延片加工石墨顶板;
2)挡板结构内部晶片边缘休息;
3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;
4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。
功能
1)较低的热膨胀系数
2)thermak导电性更好
3)稳定的化学perfermance
4)更好的耐蚀性
5)较强的导电性
规范
数量单位
体积密度1.85克/立方厘米
比电阻11 - 14 uΩm
抗压强度90 mpa
挠曲强度40 mpa
肖氏硬度60
灰分500 ppm
平均粒度20 um
膨胀系数4.5 gte
弹性模量11平均绩点
