弘竣石墨舟独家清洗技巧揭秘

一般舟在运行 100 至 120 次后就应该进行清洗,次数达到后，硅片会发红。 这是因为舟上的 SiN 会随着运行次数的增加而增加，影响舟的正常使用。

其它硅片变色原因，可点击《石墨舟镀膜后硅片会变色？》查看。

在室温条件下 (<40°C)，将舟放入32升HF酸中，大约高过石墨舟1.5cm左右。

最好的浓度是 10%， 腐蚀时间为 10-12小时。低浓度条件下，腐蚀槽会被产生的 SiN 颗粒污染，因此需要进行定期的过滤维护。 浓度高于 10%会对操作人员造成危险。所有部件应该被分开放入腐蚀槽内并且不可互相接触，这样 HF 酸就可以腐蚀到任何部位，这对于石墨连接块而言更为重要。

在 2 号纯水槽内将其用纯水漂洗3次，每次2-3小时。

用 PH-试纸检查流动的水是不是中性的（基本数值5-6弱酸，为正常），必须保证所有的蚀刻残渣（SiF4）都已经被洗掉，任何蚀刻残渣被带入炉管都可能引起沾污或者工艺问题。 可以在石墨上看到白色的一层就是残渣，所有部件都必须分开放置这样可以避免酸液残留在其中。

用氮气枪吹干，在 120-150℃条件下，将石墨舟烘干10-12小时。

接着进行镀舟工艺，花费3小时20分-4小时。镀舟工艺与普通工艺不同，在镀舟结束后，先进行空镀，空镀后再进行插片使用。

酸洗排酸时，喷淋要打开。水洗排水时，鼓泡要打开，让其流动。一般酸洗10-12小时可洗干净，如果没洗干净可先尝试补酸4升，直到清洗干净为止。还是没法洗净的话，需要严查清洗时间是否符合标准。